用于细胞代谢检测的640 × 640 ISFET阵列

离子敏场效应晶体管（Ion sensitive Field Effect Transistor，ISFET）是一种通过离子敏感膜特异性检测溶液离子浓度的半导体生化传感器，具有高灵敏、高通量、快速、可大批量制造等优势，广泛应用于基因测序、疾病诊断、废水处理、食品安全等领域。

中国科学院半导体研究所李钊课题组研制了面向细胞生理监测的专用集成电路生化传感芯片，集成了40万门大阵列ISFET离子敏场效应管及辅助电路，敏感单元面积7.4 μm × 7.4 μm，氢离子敏感度达到33 mV/pH，分辨率0.02 pH，实现了溶液离子特性电化学动态测试和癌细胞培养过程pH监测，有望为癌细胞生理活动和代谢过程的研究提供新技术平台。

该文章以题为“A 640 × 640 ISFET array for detecting cell metabolism”发表在Journal of Semiconductors上。

图1. p型ISFET的示意图。